Der allgemeine Gleichheitssatz gebietet dem Subventionsgeber nicht nur ein gleichheitsgerechtes Verteilungsprogramm zu erstellen, sondern überdies begründet er zugunsten jedes Zuwendungsbewerbers einen Anspruch darauf, entsprechend dem aufgestellten Verteilungsprogramm behandelt zu werden (BVerwG, Urteil vom 8.4.1997 – 3 C 6.95 –, juris Rn. 20; Niedersächsisches OVG, Urteil vom 27.5.2020 – 2 LC 21/17 –, juris Rn. 27). Art. 3 Abs. 1 GG gebietet dem Normgeber, wesentlich Gleiches gleich und wesentlich Ungleiches ungleich zu behandeln (BVerfG, Nichtannahmebeschluss vom 17.6.2020 – 1 BvR 1134/15 –, juris Rn. 9; vgl. auch Senatsurteil vom 21.8.2018 – 10 KN 10/18 –, juris Rn. 76 m.w.N.). Er gilt sowohl für Belastungen als auch für Begünstigungen. Verboten ist auch ein gleichheitswidriger Ausschluss, bei dem eine Begünstigung dem einen Personenkreis gewährt, dem anderen aber vorenthalten wird (BVerfG, Beschluss vom 21.6.2011 – 1 BvR 2035/07 –, juris Rn. 63 m.w.N.; BVerwG, Urteil vom 14.3.2018 – 10 C 1.17 –, juris Rn. 16). Der Gleichheitssatz ist allerdings nicht bei jeder Differenzierung verletzt (vgl. BVerfG, Beschluss vom 23.03.1994 – 1 BvL 8/85 –, juris Rn. 54). Differenzierungen bedürfen jedoch stets der Rechtfertigung durch Sachgründe, die dem Ziel und dem Ausmaß der Ungleichbehandlung angemessen sind (BVerfG, Urteil vom 17.12.2014 – 1 BvL 21/12 –, juris Rn. 121). Dabei ist es grundsätzlich die Sache des Normgebers, zu entscheiden, welche Merkmale er bei dem Vergleich von Lebenssachverhalten als maßgebend ansieht, um sie im Recht gleich oder verschieden zu behandeln (vgl. BVerfG, Nichtannahmebeschluss vom 14.07.2011 – 1 BvR 932/10 –, juris Rn. 33). Art. 3 Abs. 1 GG verbietet dem Normgeber aber einerseits, Sachverhalte ungleich zu behandeln, wenn sich die Differenzierung sachbereichsbezogen nicht auf einen vernünftigen oder sonst einleuchtenden Grund zurückführen lässt, und andererseits, Art und Ausmaß tatsächlicher Unterschiede sachwidrig außer Acht zu lassen (BVerfG, Nichtannahmebeschluss vom 14.7.2011 – 1 BvR 932/10 –, juris Rn. 33). Damit ist der Gleichheitssatz etwa dann verletzt, wenn eine Gruppe von Normadressaten oder Normbetroffenen im Vergleich zu einer anderen anders behandelt wird, obwohl zwischen beiden Gruppen keine Unterschiede von solcher Art und solchem Gewicht bestehen, dass sie die unterschiedliche Behandlung rechtfertigen können (BVerfG, Beschluss vom 21.6.2011 – 1 BvR 2035/07 –, juris Rn. 64; BVerwG, Urteil vom 14.3.2018 – 10 C 1.17 –, juris Rn. 17).
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